SMC流量傳感器

特點應用:

以制作在白金薄膜中的加熱器(Rh)為中心，左右對稱配置上游測溫傳感器(Ru)和下游測溫傳感器(Rd)，

再加上作為氣體測溫用的環境溫度傳感器(Ra)構成本MEMS傳感器觸點。

原理如右圖所示，(a)氣體在靜止狀態時，以Rh為中心加熱后的氣體溫度呈分布均等狀態，Ru · Rd同時顯示同樣的電阻值。

此外.(b)氣體由左側向右側流動時．被加熱的氣體溫度分布不再對稱，Pd的電阻值會變為大于Ru。

由于Ru和Rd電阻值的差與流動氣體的流速成比例，因此可測定其電阻值并根據計算處理得知氣體的流向和流速(流量)。

Ra用于補償氣體溫度或者環境溫度。

●微小工件的吸附確認

●重復精度: ± 2% F.S.以下

●響應速度: 5 ms 以下、耐壓: 500 kPa

測定流量范圍300.0～3.0L/min

類型分離型傳感器部

適用流體干燥空氣 / N?

OUT1輸出形式模擬電壓輸出

傳感器響應時間0.005 s

配管規格M5X0.8

模擬輸出精度±5% F.S.

重復精度±2% F.S.

電源電壓DC12～24V±10%

消耗電流16mA以下

可選項-無L型托架

●無潤滑脂、對應RoHS

●一個電壓監控器即可對應全部量程

●相關元件:真空過濾器ZFC050系列

SMC流量傳感器使用安裝注意事項

　　1.利用底部4個固定螺絲孔,依現場及機器安裝空間設施需要,直接安裝或另加保護或其他機械使用.

　　日本SMC傳感器安裝時,須注意水平角度,亦即盡量使鋼索由出線口至移動部位之機構,于工作時水平滑動， 保持小角度(容許偏差+/-30)以確保量測精度及鋼索之壽命.

　　日本SMC傳感器是不銹鋼加涂氟層,請勿讓其受外力的割傷﹑燒損﹑撞擊等不當之事發生：過量的粉塵﹑積屑或是足以破壞鋼索的物品貯留于內部的滑輪或出線口將造成鋼索破損,導致運轉不順的故障.

　　日本SMC傳感器未安裝于工作臺或固定坐前,請勿用手或是其它產品將鋼索拉出并讓其瞬間自行彈回.此舉將造成鋼索斷裂,傷害本體結構及人身安全.

　　日本SMC傳感器產品的往復運動的瞬間加速優良不可超過1米/秒;MPS-L和MPS-L-P系列產品的往復運動的瞬間加速優良不可超過0.5米/秒;此舉將造成鋼索斷裂.